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Qu'est-ce que la Chine a développé avec succès Le silicium monolithique C au plus grand diamètre au monde
#1
Le projet national majeur de développement d'équipements de recherche scientifique entrepris par l'Institut d'optique, de mécanique fine et de physique de Changchun de l'Académie chinoise des sciences a passé le test d'acceptation du projet pour le «système de fabrication intégré de miroir asphérique SiC de haute précision de 4 m». Il s'agit du plus grand miroir unique en carbure de silicium de calibre au monde, qui marque la capacité de fabrication de systèmes optiques avancés au monde et a jeté des bases solides pour la mise à niveau de l'équipement optoélectronique de gros calibre de la Chine.
 
Miroir asphérique en carbure de silicium de haute précision de 4 mètres de diamètre
Les miroirs optiques asphériques de haute précision et de grand diamètre sont les composants de base des systèmes d'observation à haute résolution de l'espace à la surface, d'exploration dans l'espace lointain et d'observation astronomique. Le niveau de technologie de fabrication est d'une grande importance pour la sécurité de la défense nationale d'un pays, la construction économique nationale et les capacités de recherche scientifique de base. C'est également un indicateur important pour mesurer le niveau de développement d'un système optique national à hautes performances. Les matériaux céramiques en carbure de silicium sont reconnus comme matériaux de miroir optique à haute stabilité dans le monde optique international. L'utilisation de matériaux en carbure de silicium peut améliorer considérablement les performances des systèmes d'imagerie de gros calibre. Par exemple, pour un télescope optique, l'ouverture du miroir détermine la résolution du télescope - plus le télescope avec un grand miroir d'ouverture, plus il est clair.
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Cependant, il est très difficile de fabriquer un "grand miroir" qui puisse être utilisé scientifiquement. Lorsque le calibre dépasse un certain niveau, il apportera de grands défis aux matériaux optiques et au traitement optique. 4 mètres, est une crête - en prenant l'exemple de l'observation de la bande de lumière visible, la précision de la surface est également meilleure que le niveau du miroir de 20 nanomètres. Comparé au miroir de 4 mètres, cela équivaut à peu près à la taille de Pékin. Le nivellement du sol à la différence de hauteur est inférieur à 1 mm. Depuis longtemps, la technologie de fabrication et de traitement des miroirs de miroir de gros calibre est maîtrisée par quelques pays occidentaux tels que les États-Unis, la France et l'Allemagne. La Chine n'a jamais eu la capacité de fabriquer indépendamment des miroirs de grand diamètre de l'ordre de 4 mètres.
Sous la direction du chef de projet et chercheur Zhang Xuejun de l'Institut d'optique, de mécanique fine et de physique de Changchun, Académie chinoise des sciences, l'équipe de recherche et développement du projet a achevé neuf ans de recherche technique et a terminé la préparation des ébauches de miroir en carbure de silicium, inspection de surface asphérique et revêtement de modification de surface en carbure de silicium. La recherche et le développement d'équipements de fabrication et de processus de fabrication ont formé une plate-forme de fabrication intégrée asphérique de carbure de silicium de haute précision de 4 m avec des droits de propriété intellectuelle indépendants, et achevé le développement de produits asphériques de carbure de silicium de haute précision de 4 mètres.
[Image: 1-1Z619150131Y7.jpg]
Zhang Xuejun a présenté que les principaux goulets d'étranglement techniques clés dans la fabrication de miroirs asphériques en carbure de silicium de haute précision de grand diamètre sont trois aspects: préparation des matériaux en carbure de silicium, inspection du traitement de surface asphérique et revêtement modifié haute performance. Dans la technologie de préparation des matériaux en carbure de silicium, l'équipe R&D a maîtrisé un certain nombre de technologies clés pour la préparation des ébauches de miroirs, a mis en place une plate-forme de fabrication d'ébauches de miroirs en carbure de silicium de grand diamètre et a successivement développé une ébauche de miroir en carbure de silicium simple de 2 m et 3 m 4 m de calibre Le blanc global du miroir en carbure de silicium réalise le contrôle indépendant des matériaux optiques en carbure de silicium de grand diamètre de la Chine. Dans le domaine de la technologie de traitement asphérique au carbure de silicium de grand diamètre, l'équipe de R&D a développé le centre d'usinage NC asphérique qui a été appliqué avec succès pour la première fois en Chine, a proposé de manière créative une solution intégrée d'équipement de traitement et a terminé l'usinage de haute précision d'un Surface asphérique en carbure de silicium à 4 m. La précision de traitement est meilleure que 16 nanomètres, et la technologie de haute précision de traitement et de détection du carbure de silicium dans 4 mètres est entièrement contrôlable. Dans la technologie de revêtement modifié au carbure de silicium de grand diamètre, l'équipe de R&D a réussi à développer pour la première fois dans le monde l'équipement intégré de modification du miroir SiC et de placage de film réfléchissant. Pour la première fois, la technologie de pulvérisation magnétron a été utilisée pour achever la modification de surface de 4 m de carbure de silicium. Pour répondre aux exigences de polissage des surfaces optiques de haute qualité, le revêtement de film à haute réflectivité sur la surface du miroir en carbure de silicium de 4 m peut être vu, et la réflectance à pleine longueur d'onde de l'infrarouge à ondes longues est meilleure que 95%.

Selon les rapports, les miroirs asphériques en carbure de silicium à 1,5 mètre et à 2 mètres développés sur la base de ce projet ont été appliqués avec succès aux principales tâches de modélisation nationales. À l'avenir, le miroir asphérique en carbure de silicium à l'échelle 4 m sera également appliqué au système photovoltaïque national à grande échelle, résolvant les principaux problèmes techniques pour le développement de systèmes optiques de gros calibre.

Ajouter: Salle 410, Centre d’invasion de la technologie de service de Chuangye, NO.10 Yanguang Road,
         District de Gaoxin, zone de libre-échange pilote de la région de Luoyang en Chine



Tél: 86-379-64281838

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